EV serisi elektron demeti buharlaştırıcıları standart ısısal tekniklerle buharlaştırılmanın zor olduğu malzemelerden buhar akışını elde edebilmek için kullanılmaktadır. Burada enerjilenen elektron demeti hedef olarak kaynak malzemeye yönlendirilir ve etki ettiği bölge üzerinde sıcaklık artışına neden olur. Konveksiyonel ışınım veya dolaylı resistant ısınma işlemlerinin aksine bu yöntemde gerçek bir sıcaklık limiti yoktur.
Mini Elektron demeti buharlaştırıcılar düşük akışlarda buharlaşma hızını maksimum düzeyde kontrol edebilmesinin yanında yüzey bilimi veya ince film katkılama gibi yüksek hassasiyet gerektiren uygulamalarda buhar akımı içerisindeki kirliliği minimize etmektedir. Mini elektron demeti buharlaştırıcıları minimum kirlilik ve maksimum buhar akış kontrolünü sağlamaya yönelik tasarlanmıştır.
Mantis QUAD-EV Buharlaştırıcıları ise birbirinden bağımsız flamentlere sahiptir ve 4 farklı malzemeye kadar buharlaştırma imkanı sunmaktadır. QUAD -EV -C modelindeki elektron demeti kaynakları eşbuharlaştırma yapabilmektedir. Pota: Buhar basıncı-kaynama noktası oranı düşük olan bazı malzemelerden buhar eldesi için genellikle pota kullanılmaktadır. W,Mo,Ta ve camsı karbon potalar aksesuar olarak sunulmaktadır. Akı Kontrolü: Quad-EV-S ve M-EV lerde depozisyon hızı %1 aralık içerisinde sabit tutulacak şekilde güç kaynağı ile kontrol elektroniği
arasında uygunluk bulunmaktadır. Kontrol Yazılımı: Quad-EV-C modellerinde bulunan PC interface donanım ve
yazılımla tüm parametrelerin uzaktan kontrolü sağlanabildiği gibi gerçek zamanlı akı ayarlaması ve öncelikli elektron demet buharlaştırıcı profilinin programlanması işlemlerini gerçekleştirebilmektedir.