Resist Processing Sistemleri

EVG®101 İleri Resist
Processing Sistemi

• Otomatik spin veya spray kaplama veya gelişen manuel wafer ile yükleme ve boşaltma

EVG®101LA Geniş Alan Kaplama
Sistemi

• Geniş alanada yarı otomatik spray kaplama

EVG®105 Bake Modülü

• Bağımsız Bake Modülü
• Max. sıcaklık 150 ° C


EVG®120 Otomatik Resist
Processing Sistemi

• Tam entegre işlem modülleri
• 250 °C 'ye kadar bake modülü




EVG®150 300 mm'ye kadar
Otomatik Resist Processing Sistemi

• Yüksek Topografya yüzeyleri optimize kaplama için OmniSpray® kaplama özelliği

EVG®150N Automated NanoSpray
Coating Sistemi

• Ultrasonik nozullar tarafından oluşturulan bir spray buğu üzerinde temel spray işlemi