Nanoimprint Lithography Sistemleri

EVG®620 Otomatik NIL Sistemi

• Nanoimprint litografi ve mikro kontak baskı
• Hem yumuşak hem sert pullarla uyum

EVG®6200∞ Otomatik NIL
Sistemi

• Nanoimprint litografi ve mikro kontak baskı
• UV-NIL için özel takım

IQ Aligner® - Otomatik UV-NIL
Sistemi

• Tam saha nanoimprinting uygulamalar için tasarlanmıştır

EVG®770 Otomatik NIL Stepper

• +/-500 nm doğrulukla yüksek hassasiyetli hizalama sistem. Opsiyonel hassas hizlama :50nm




EVG®510HE - Yarı Otomatik Hot
Embossing Sistemi

• Otomatik kabartma işlemi
• Tamamen yazılım Kontrollü işlem
• Harici soğutma istasyonu

EVG®520HE Yarı Otomatik Hot
Embossing System

• Otomatik kabartma işlemi
• Pnömatik çukurlaştırma seçenekleri

EVG®750 Otomatik Hot Embossing
Sistemi

• Yüksek hacimli sıcak kabartma ve nanoimprinting uygulamaları
• Hızlı soğutma işlemi